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接近傳感器的集成化和多樣化

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  接近傳感器的“五化”指的是:智能化、可移動化、微型化、集成化和多樣化。

  接近傳感器集成化,多功能一體化傳感器受到廣泛關(guān)注。傳感器集成化包括兩類:一種是同類型多個傳感器的集成,即同一功能的多個傳感元件用集成工藝在同一平面上排列,組成線性傳感器。另一種多功能一體化,如幾種不同的敏感元器件制作在同一硅片上,制成集成化多功能的傳感器、集成度高、體積小,容易實現(xiàn)補償和校正,是當前傳感器集成化發(fā)展的主要大方向。

  接近傳感器多樣化是新材料技術(shù)的突破加快了多種新型傳感器的涌現(xiàn),新型敏感材料是傳感器的技術(shù)基礎(chǔ),材料技術(shù)研發(fā)是提升性能、降低陳本和技術(shù)升級的重要手段,除了傳統(tǒng)的半導體材料、光導纖維等,有機敏感材料、超導、納米和生物材料等成為研發(fā)熱點,生物傳感器、光纖傳感器、氣敏傳感器等新型傳感器加快涌現(xiàn)。