采用電容式位移近距離傳感器原理，使傳感器和目標(biāo)像理想的平行板電容一樣工作。兩個扁平電極由傳感器和被測目標(biāo)形成。如果恒定頻率的交流電流流過傳感器電容器，傳感器上的交流電壓幅值與電容器電極之間的距離成正比。在放大電路中同時產(chǎn)生可調(diào)的補償電壓。在兩個交流電壓被解調(diào)后，差分被放大并作為模擬信號輸出。由于該傳感器的結(jié)構(gòu)類似于保護(hù)環(huán)電容器，因此可以實現(xiàn)對金屬目標(biāo)的近乎理想的線性度和分辨率。該技術(shù)還提供了高溫穩(wěn)定性，因為目標(biāo)的電導(dǎo)率對測量沒有影響。電容式傳感器也可以測量絕緣體。